設計の得意分野 |
・メカトロ装置システム |
高速駆動・干渉回避・
小型化等の設計 |
・精密技術 |
ダイサー・プローバー等 |
・真空技術 |
低真空〜高真空まで |
・高低温技術 |
・複合設計 |
上記条件の組合せ設計 |
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設計実績 |
・UV処理装置 |
・両面プローバー |
・ダイボンダー |
・大型液晶用アライメント部 |
・φ2インチウェーハローダ |
・真空内移載機 |
・セミオートプローバー |
・ハンドラー |
・ウェーハ移載機 |
・RIEドライエッチング |
・各種CVD装置 |
・高速熱処理炉(RTP) |
・縦型拡散炉のマニホールド |
・フルオートダイサー |
・マニュアルプローバー |
・マニュアル真空プローバー |
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